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  • MEMS加工技術有關的工藝
    MEMS加工技術有關的工藝

    2020-02-21

    傳統(tǒng)的制造業(yè)依賴大量的關鍵機械設備和有關的工藝，這些設備和工藝已有幾十年甚至上百年的歷史了。例如鑄造、鍛造、車削、磨削、鉆孔和電鍍等均是一個...

  • 硅基微機械加工技術
    硅基微機械加工技術

    2020-02-21

    目前正在使用的硅基微機械加工技術有三種：體硅體微機械加工、表面微機械加工 、復合微機械加工。 1.1體硅微機械加工  這種加工是將整塊材料，如...

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